優勢

◆快速的工藝認證，可以極高的提升生產

◆專業的高效電池制造

◆良好的膜厚均勻性，較長的恒溫區

◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的服務和支持確保了長期完美的生產能力

◆Ivoc:>740mV(鈍化后)

主要特點

◆產能:2200~2880pcs/管

◆管數:5管/6管

◆硅片尺寸:182-230mm硅片

◆壓力控制:APC控制

◆系統控制:PLC和PC控制基礎

◆通訊:Melsec，MES，I/O，SECS-II等

◆自動化集成:用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案

◆運行時間：97%

硬件規格

◆最高溫度:800℃

◆溫度均勻性:500℃~700℃±0.5℃

◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳

工藝規范

◆膜厚:1000A~3000A

◆厚度均勻性:<5%(片內/片間/批間均勻性)

◆未摻雜多晶硅(硅烷)

◆N型摻雜多晶硅PH3

◆P型摻雜多晶硅B2H6