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高溫氧化爐
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~氧化爐是賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司主營產品之一,憑借可靠的質量,穩定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應,請來此了解詳情,采購請聯系13401355060.
產品詳情
SiC與GaN晶圓氧化工藝設備，工藝時間短，生產效率高，具有出色的工藝性能。
設備特點
◎ 型號:OXIDE150
◎ 工藝溫度:1380℃~1500℃
◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?
◎ 工藝壓力:100mbr-Atmospher
◎ 晶圓尺寸:≤150mm
◎ 產能:25或50 片/批
◎ 正常UP Time:98%
◎ 全自動化系統和MES服務
產品優勢
◎ 高溫氧化工芝時間短
◎ 工藝室縣備DCE自清洗功能
◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性
高溫氧化爐
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13401355060
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設備特點
◎ 型號:OXIDE150
◎ 工藝溫度:1380℃~1500℃
◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?
◎ 工藝壓力:100mbr-Atmospher
◎ 晶圓尺寸:≤150mm
◎ 產能:25或50 片/批
◎ 正常UP Time:98%
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產品優勢
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◎ 工藝室縣備DCE自清洗功能
◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性
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