賽瑞達取得一種立式LPCVD設備工藝腔室專利，解決石英內管拆裝不便問題

金融界2024年12月18日消息，國家知識產權局信息顯示，賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司取得一項名為“一種立式LPCVD設備工藝腔室”的專利，授權公告號 CN 222160351 U，申請日期為2024年2月。

專利摘要顯示，本實用新型公開了一種立式LPCVD設備工藝腔室，旨在提供一種解決石英內管拆裝不便問題的立式LPCVD設備工藝腔室，其技術方案要點是，包括石英外管，所述石英外管內還設有工藝管，所述工藝管底端套設有阻流石英套管，所述阻流石英套管底端還設有變徑筒，所述變徑筒內還設有旋轉裝置與石英管連接。